电容传感器的三种类型
电容式传感器可分为三种基本类型:变介电常数型、变极距(变间隙)型和变面积型。
1.变介电常数型电容式传感器
变介电常数型电容式传感器大多用来测量电介质的厚度、液位,还可以根据极间介质的介电常数随温度、湿度改变而改变用来测量材料的温度和湿度等。
2.变极距型电容式传感器
它是一个固定板和一个可活动的板构成的:被测金属用来充当可动极板。这种类型的传感器一般用来测量微小的位移变化量。但在极板间距过小时,电极表面的平面度对灵敏度会有影响,同时还容易引起电容器击穿,因此极板间距不能无限小。一般电容式传感器的起始电容约为20PF一30PF之间,极板间距在25um一200um左右,最大位移应该大于间距的1/10。
3.变面积型电容式传感器
变面积型电容式传感器中,平板形结构对极距变化特别敏感,测量精度将会受到影响,而圆柱形结构受半径变化的影响很小所以成为实际应用中最常用的结构。